◆ 微小位移傳感器

• VE系列 電容式傳感器

• VS系列 渦電流式傳感器

◆ 變換器

• VT-510模擬式變換器（VE系列用）

◆ 顯示器

CL系列顯示器有兩種型號(hào)，CL-2400是用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體測(cè)量，CL- 6200用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體及絕緣體測(cè)量。這兩種型號(hào)，可廣泛應(yīng)用于硅晶片、鐵板、膠片、玻璃板等。與各種傳感器配套，可測(cè)量0.1 μm ～99.9999mm （導(dǎo)體?半導(dǎo)體測(cè)量時(shí)）及0.1 μm～5.000mm （絕緣體測(cè)量時(shí)）。

• CL-2400導(dǎo)體?半導(dǎo)體用測(cè)厚儀

• CL-6200導(dǎo)體?半導(dǎo)體?絕緣體用測(cè)厚儀（預(yù)定生產(chǎn)）

VE系列微小位移傳感器是利用傳感器與被測(cè)物的靜電容量變化來測(cè)量位移的。靜電容量是導(dǎo)體的對(duì)向面積S、間隙D等的函數(shù)。當(dāng)對(duì)象導(dǎo)體（傳感器與被測(cè)物）是平行平板時(shí)，如上圖所示，由靜電容量測(cè)出間隙（位移）由于c與d成反比例關(guān)系，當(dāng)靜電量很小時(shí)，很難保證測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定性，而且量程也不能太大。本公司zui近采用了新的電路，克服了這個(gè)缺點(diǎn)，可作到高精度、高穩(wěn)定性的測(cè)量。

　

　

VS系列微小位移檢測(cè)器，是利用渦電流效果，由傳感器的線圈（L）和變換部的電容（C）組成LC共振回路，再用石英振蕩器將此回路造成共振狀態(tài)。根據(jù)傳感器部與被測(cè)物間的距離，被測(cè)物產(chǎn)生的渦電流損耗，與上述距離的對(duì)數(shù)成反比，而傳感器部的電感，與上述距離的對(duì)數(shù)成比例。其結(jié)果是，被測(cè)物一旦振動(dòng)，共振回路的端電壓發(fā)生變化，檢測(cè)該變化信號(hào)，就作為具有對(duì)數(shù)函數(shù)特性的距離信號(hào)輸出，為了使這個(gè)信號(hào)與距離線性化，附加了高性能的線性化儀。